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Hymson 레이저
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OVERVIEW
제품소개
전자동 PERC 레이저 그루빙 설비
레이저 그루빙 기술은 레이저를 이용해서 웨이퍼 뒷면에서 드릴링 또는 그루빙을 진행하고, 일부 AlOx(SiOx)와 SiNx 박막층을 뚫어 실리콘 기판을 노출시키고, 후면 전계는 박막의 홀 또는 홈을 통해 실리콘 기판과 접촉합니다.
ADVANTAGE
제품 특장점
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Hymson이 자체 연구·개발한 레이저 및 특수 광로 설계를 채택하고, 스마트 제조 기술을 도입했습니다
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유연한 그래픽 제어 방식, 스폿, 라인, 실선/점선 등의 다양한 그래픽을 실현합니다
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초미세 선폭, 비파괴 그루빙, 마이크로미터급 전자동 포지셔닝
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안전하고 믿을 수 있으며, 무소음, 낮은 오염, 표준화 모듈 설계, 강한 호환성
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Hymson이 자체 연구·개발한 레이저를 사용하고, 광로가 완전 밀폐되며, 밀폐성이 좋습니다
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본체와 이식장치 2부분으로 구성하며, 수작업 재료 투입/배출 및 AGV 전자동 재료 투입/배출을 실현해서 고객의 재료 투입별 요구를 충족시킬 수 있습니다
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전자동 재료 투입/배출 기능을 갖추고 있으며, 사람 없이 전자동 운영, 대량화 생산을 합니다
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시장의 모든 브랜드 인쇄장치와 바로 연결할 수 있고, 호환성과 유연성이 높습니다
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기본 정보
- 설비 치수: 가로×세로×높이: 5,920mm×2,620mm×2,200mm(3색 램프, 집진기, 냉각기 미포함)
- 적용 웨이퍼 치수:호환 가능한 제품 치수166/182/210/230
- 생산부지 공간:가로×세로×높이: 7,000×3,000×2,500
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제품 성능
- 파손율:≤0.03%
- 그래픽 정밀도:±15μm
- 조준 정밀도: ±15μm
- 생산능력:≥6,800pcs/h(210*210)
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모델 타입
- HL-PPGCPD-HT
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