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Hymson 레이저
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OVERVIEW
제품소개
전자동 TOPCon 레이저 도핑 설비
BSG(붕규산 글라스)를 도핑원으로 할 경우, 먼저 확산로를 통해 고붕소 표면 농도의 P++층을 통과하지만, 산화를 진행하지 않고, P++층을 레이저 도핑원으로 하며, 다시 레이저 도핑과 산화 공정을 진행해서 붕소 도핑 농도 문제를 해결함과 동시에 발사극을 선택하는 제조공정 프로세스를 단순화할 수 있습니다.
ADVANTAGE
제품 특장점
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Hymson이 자체 연구·개발한 레이저 및 특수 광로 설계를 채택하고, BSG 레이저 도핑을 실현합니다
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고객 수요에 따라 맞춤 제작하고, 무손상, 높은 생산능력, 고정밀도, 고효율의 레이저 도핑을 실현합니다
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정밀 비전 포지셔닝, 고속 유연성 기구 전송, 조각화률 0.02% 미만
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기본 정보
- 설비 치수: 가로×세로×높이: 5,500x2,300x2,500(시그널 타워, 집진기, 냉각기 미포함)
- 적용 웨이퍼 치수: 166/182/210/230
- 생산부지 공간: 가로×세로×높이: 9,600x3,260x2,800
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제품 성능
- 파손율: ≤0.02%
- 그래픽 정밀도:±15μm
- 조준 정밀도: ±15μm
- 생산능력: 182 size ≥182인치 ≥8400pcs/h(그리드 라인 수량<132), 210인치 ≥7,300pcs/h(그리드 라인 수량<152)
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모델 타입
- HL-KZPCNS-HO
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