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Hymson レーザー
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製品
OVERVIEW
製品紹介
全自動TOPCNレーザー微損装置
BSG（ホウケイ酸ガラス）をドーパントとする場合、拡散炉を通じて表面のホウ素濃度の高いP++層を推進するが酸化を行わず、P++層をレーザードーパントとし、それからレーザードーピングと酸化プロセスを行い、ホウ素ドーピング濃度の問題を解決すると同時に、選択エミッタの製造プロセスフローを簡略化できます。
ADVANTAGE
製品のメリット
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Hymsonが自ら開発したレーザー及び特殊光路設計を採用し、BSGレーザーの直接ドーピングを実現します。
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取引先のニーズに応じてカスタマイズし、無損失、高生産能力、高精度、高効率のレーザードーピングを実現します。
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精密ビジュアルポジショニング、高速フレキシブル機構による伝送を採用し、破片率が0.02%未満です。
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基本情報
- 設備寸法：長さ×幅×高さ：5500*2300*2500（三色ランプ、集塵機、冷水機を含まない）
- 適用シリコンウェハ寸法：166/182/210/230
- 作業場スペース：長さ×幅×高さ：9600x3260x2800
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製品性能
- 破片率：≤0.02%
- パターン精度：±15um
- アライメント精度：±15um
- 生産能力：182寸法≥8400Pcs/h（グリッド数<132）、210寸法≧7300Pcs/h（グリッド数<152）
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モデル分類
- HL-KZPCNS-HO
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